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注意：确认洁净区内所有人员已经撤出，生产处于停止状态。
1.臭氧
方式为臭氧发生器产生一定浓度臭氧，由风机风管带入洁净区内。臭氧一般在无人情况下进行，目前我国药厂都是沿用臭氧对空调通风系统。公共场所为人群聚集的场所，一般不选用单独的臭氧方法。
2.紫外线
紫外线照射对静止的物体或空气具有十分可靠的效果, 但紫外线穿透性较差, 遮挡角落不易被; 且紫外线没有除尘作用，空气中的尘埃粒子可能会影响其效果。
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